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日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測(cè)試橢偏儀
日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測(cè)試橢偏儀
顯微分光膜厚儀 OPTM SERIES
●非接觸 · 非破壞 · 顯微、對(duì)焦、測(cè)量1秒完成 ●OPTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測(cè)試膜厚、折射率n、消光系數(shù)k、**反射率的新型高精度、高性價(jià)比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測(cè)試，并有****可針對(duì)透明基板去除背面反射，從而達(dá)到“真實(shí)反射率、膜厚”測(cè)試的目的。此外，軟件操作簡(jiǎn)單、使用方便且簡(jiǎn)化了復(fù)雜的建模流程
非接觸、非破壞式，量測(cè)頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)
● 初學(xué)者也能輕松解析建模的初學(xué)者解析模式
● 高精度、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波段內(nèi)的**反射率，可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）
● 單點(diǎn)對(duì)焦加量測(cè)在1秒內(nèi)完成
● 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外 ~ 近紅外）
● 獨(dú)立測(cè)試頭對(duì)應(yīng)各種inline定制化需求
● *小對(duì)應(yīng)spot約3μm
● ****可針對(duì)超薄膜解析nk
日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測(cè)試橢偏儀，
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日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測(cè)試橢偏儀
