產(chǎn)品信息

• 可在紫外-可見(jiàn) (300-800 nm) 波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量 Ellipso 參數(shù)
• 納米級(jí)多層薄膜厚度分析成為可能
• 可以通過(guò)400ch以上的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
• 支持通過(guò)可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
• 通過(guò)創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)并添加配方注冊(cè)功能，提高了可操作性。

• 橢圓參數(shù) (tanψ, cosΔ) 測(cè)量
• 光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
• 膜厚分析

• 半導(dǎo)體晶片
  柵氧化薄膜、氮化膜
  SiO ₂、Si x O y、SiN、SiON、SiN x、Al ₂ O ₃、SiN _x O _y、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
  的光學(xué)常數(shù)（波長(zhǎng)色散）抵抗
• 化合物半導(dǎo)體
  Al _x Ga _(1-x)作為多層膜、非晶硅
• FPD
  取向膜
• 各種新材料
  DLC（類金剛石碳）、超導(dǎo)用薄膜、磁頭用薄膜
• 光學(xué)薄膜
  TiO ₂ , SiO ₂ , 減反射膜
• 
  

• g-line (436nm), h-line (405nm), i-line (365nm)等各波長(zhǎng)的光刻場(chǎng)n、k評(píng)估
  規(guī)格

  模型	FE-5000S	FE-5000
  樣本量	*大 100x100mm	*大 200x200mm
  測(cè)量方法	旋轉(zhuǎn)光子法*1
  測(cè)量膜厚范圍（nd）	0.1nm ~ 1μm
  入射（反射）角范圍	45-90°	45-90°
  入射（反射）角驅(qū)動(dòng)方式	自動(dòng)正弦桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
  光斑直徑*2	φ2.0	φ1.2 sup * 3
  tan ψ 測(cè)量精度	± 0.01 或更小
  cosΔ測(cè)量精度	± 0.01 或更小
  可重復(fù)的薄膜厚度	0.01%以下*4
  波長(zhǎng)范圍*5	300-800nm	300-800nm
  測(cè)量用光源	高穩(wěn)定性氙燈*6
  舞臺(tái)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)	手動(dòng)的	手動(dòng)自動(dòng)
  裝載機(jī)兼容	不可能的	可能的
  尺寸、重量	650 (W) x 400 (D) x 593 (H) 毫米 50kg	1300（寬）×890（深）×1750（高）mm 350kg * 7

  * 1 可驅(qū)動(dòng)分離器，可裝卸對(duì)死區(qū)有效的相位差板。
  * 2 因短軸和角度而異。
  * 3 與微小斑點(diǎn)兼容（選項(xiàng)）
  * 4 使用 VLSI 標(biāo)準(zhǔn) SiO2 薄膜（100 nm）時(shí)的值。
  * 5 這是選擇自動(dòng)階段時(shí)的值。

  測(cè)量示例

  使用傾斜模型對(duì) ITO 進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析

  ITO（氧化銦錫）是用于液晶顯示器的透明電極材料，由于成膜后的退火處理（熱處理），其導(dǎo)電性和顏色得到改善。此時(shí)，氧態(tài)和結(jié)晶度也發(fā)生變化，但這種變化可能相對(duì)于薄膜的厚度呈階梯式變化，不能視為具有光學(xué)均勻組成的單層薄膜。
  對(duì)于這種 ITO，我們將介紹一個(gè)使用傾斜模型從上界面和下界面的 nk 測(cè)量?jī)A斜度的示例。

  

  

   

  考慮表面粗糙度的膜厚值測(cè)量

  如果樣品表面有粗糙度，將表面粗糙度建模為“粗糙層”，其中大氣（空氣）和膜厚材料以 1:1 的比例混合，并分析粗糙度和膜厚。 . 在這里，我們描述了一個(gè)測(cè)量表面粗糙度為幾納米的 SiN（氮化硅）的例子。

  

  

   

  使用非干涉層模型測(cè)量密封的 OLED 材料

  有機(jī)EL材料易受氧氣和水分的影響，在正常大氣下可能會(huì)發(fā)生改變或損壞。因此，成膜后立即用玻璃密封。以下是在密封時(shí)通過(guò)玻璃測(cè)量薄膜厚度的示例。中間的玻璃和空氣層采用非干涉層模型。

  

  

   

  使用多點(diǎn)分析法測(cè)量 nk 未知超薄膜

  材料nk需要通過(guò)*小二乘法擬合來(lái)分析膜厚值(d)。如果 nk 未知，則將 d 和 nk 都解析為可變參數(shù)。然而，在d為100nm以下的超薄膜的情況下，d和nk不能分離，這可能會(huì)降低精度并且無(wú)法獲得準(zhǔn)確的d。在這種情況下，測(cè)量具有不同d的多個(gè)樣品，并且假設(shè)nk相同，進(jìn)行同時(shí)分析（多點(diǎn)分析）。這使得可以準(zhǔn)確地獲得nk和d。