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產品名稱：MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子
產品型號：
產品廠商：MDCOM株式會社
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簡單介紹：

MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理抗殘渣、有機物灰化

詳情介紹：

MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理抗殘渣、有機物灰化

VUV清洗效果清洗效果達到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染，潔凈如新。

三大步驟

除去有機物，增加表面的活性化、親水化；工件的粘著性和緊密性大幅度提高；UV清洗是不會破壞表面以及不會形成腐蝕孔的無損傷清洗方式。

切斷

切斷有機物分子：172nm光子能量切斷有機物分子的結合(表面改質?硬化)

CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

吸收與分解

被氧吸收和分解：172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

結合

氧化分解為親水基：被切斷了化學結合的原子和活性氧結合，氧化分解、揮發(fā)后，生成親水基 CO2, H2O, OH-

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參考規(guī)格

蘋果	XE（氙氣）準分子燈*1
波長	172納米 *1
安裝的燈具數(shù)量	1*2起的定制設計
有源發(fā)射長度	150毫米~2500毫米
光。。。。。。。。。。。。標準	70毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。高照度	120毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。內管水冷高照度	170毫瓦/平方英寸以上 *4
照度均勻性	± 10% 以內

陣容
梅特	標準照度（70mW/cm2），水冷系統(tǒng)（電源和燈座）
梅烏塔	標準照度（70mW/cm2），風冷
默斯	高照度（120mW/cm2），水冷系統(tǒng)（電源和燈座）
默特	大面積體輻照裝置（帶石英窗）
梅斯-WC	內管水冷高照度（170mW/cm2）水冷系統(tǒng)（電源和燈座，內管電極） *5

■ 注
*1 波長選項：222nm
*2 燈管數(shù)量、有效長度、照射設備尺寸：定制*3 支持以 10mm 燈管有效長度為增量進行定制
。對于有效長度為1700mm或以上，兩個燈以交錯排列的方式排列
*2 點亮后立即測量大氣管表面（通過照度計C4/H9536-9535測量）*172 內管冷卻需要純水（每盞燈5L/min）

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產品名稱：MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子

三大步驟

除去有機物，增加表面的活性化、親水化；工件的粘著性和緊密性大幅度提高；UV清洗是不會破壞表面以及不會形成腐蝕孔的無損傷清洗方式。

切斷

吸收與分解

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