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產品詳情
  • 產品名稱:Auto SE - 自動化薄膜測量工具國內總代

  • 產品型號: Auto SE
  • 產品廠商:HORIBA堀場
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簡單介紹:
Auto SE - 自動化薄膜測量工具國內總代Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕,幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報告,包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。
詳情介紹:

Auto SE - 自動化薄膜測量工具國內總代



  • 光譜范圍:440-1000nm
  • 光斑尺寸:7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
  • 探測系統:CCD,分辨率2nm
  • 樣品臺:真空吸盤,Z軸行程40mm
  • 光斑可視系統:CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
  • 量角器:固定角70°,也可選擇66°或61.5°
  • 多種附件可選
  • 測試時間:<2s,常規為5s
  • 準確性:NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
  • 重復性:NIST 15nm ± 0.2 ?

Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕,幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報告,包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。

Auto SE全自動化設計、一鍵式操作,功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析,自動切換微光斑,多種附件可選,以滿足不同的應用需求。

Auto SE借助完整的操作向導,自動檢測并診斷問題,對故障進行處理,儀器維護簡單

Auto SE是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。

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